从 piezo电机到整机：PiezoMotor 精密位移台如何缩短半导体与生命科学设备集成周期

2026 年 8 月，瑞典精密运动技术公司 Acuvi AB（acuvi acuvi电机技术平台）宣布与日本精密定位系统制造商达成独家全球合作，以 PiezoMotor（piezomotor压电电机）品牌面向全球推出首批 12 款电动精密位移台，覆盖直线、旋转与测角构型。这是 piezomotor电机从压电电机供应商升级为精密定位系统解决方案提供商的关键一步。

PiezoMotor 的核心技术是 Piezo LEGS piezo电机：多层压电陶瓷“腿”在电压驱动下伸长、侧弯，四腿两两交替与驱动杆摩擦接触，以“行走”方式推进，属非共振直驱。结构上无齿轮、无丝杠，零背隙；每个波形周期可细分为 8192 微步，微步长度达亚纳米级。电机断电自锁、保持零功耗；无绕组不产生磁场（10 mm 处磁通低于 1 nT），并提供真空至 10⁻⁷ torr、可 125℃ 烘烤的真空兼容型号。这正是 piezo马达（压电马达）品类中少见的直驱行走方案。

产品线上，piezomotor直线电机覆盖 6.5–40 N（行程至约 75 mm），重载系列达 300–450 N；piezomotor旋转电机（LR17/LR23-50/LR23-80）即压电旋转电机，内置编码器；PMD301/401 控制器支持多轴纳米级定位闭环。官方披露的应用覆盖半导体加工设备、纳米定位系统、高级光学、主动自动对焦、微透析泵与手术机器人，客户案例包括电子储存环 Bessy II 精密平台、GE Healthcare 回旋加速器与 3DHISTECH 数字病理扫描系统。

科研端有扎实的硬件集成证据：MR 引导穿刺辅助系统 eGantryMate 在 1.5T 磁体内集成 4 台 Piezo LEGS 电机（IEEE Access 2024），无成像伪影、7.6 mm 靶标全部命中；前列腺冷冻消融电机化模板采用 LR23-050 压电旋转电机完成 ±15° 双轴角度调节；2009 年 ISMRM 研究显示，非磁 Piezo LEGS 可将 MR 信噪比损失降至约 3%。

痛点问题和解决方案：

针对真空/磁场环境不兼容、传动背隙与回程误差、保持阶段发热与功耗、小型化与出力矛盾、MR 环境电磁干扰、多轴集成方案碎片化等痛点，Piezo LEGS 直驱行走原理提供零背隙、断电自锁、无磁、真空兼容与亚纳米分辨率的统一解；新一代位移台进一步将电机、机构与控制电子整合为整机平台，缩短设计集成周期。

半导体制造场景中的 Piezo LEGS 应用

对科研院校与企业研发而言，PiezoMotor 的价值集中在真空与强磁环境、长时间保持位置的低功耗应用、以及小型化与高出力兼得的 OEM 集成。信倍通（ICT）代理 PiezoMotor 全系并提供选型、数据手册、供货与技术支持；超声波压电电机矩阵的还有法国 Tekceleo（tekeceleo）行波超声波电机，可一并咨询选型。