会"走路"的电机:PiezoMotor压电电机直线驱动Piezo LEGS技术解析

当精密制造进入纳米时代:Piezo LEGS精密线性执行器的技术解码​

在精密工程领域,驱动技术持续推动定位精度边界。作为Acuvi集团旗下的核心产品,PiezoMotor超声波压电电机,有多种直线电机和旋转电机。其中,PiezoMotor直线电机以核心的Piezo LEGS精密线性执行器为依托,采用创新的电机原理,为纳米级精密定位、真空环境运动控制提供新方案。该技术融合压电材料特性与仿生 “行走” 机制,已在半导体检测设备医疗精密仪器光学对焦系统高真空环境装备中获得关注与应用。

 

核心技术:压电陶瓷驱动的仿生学突破​

Piezo LEGS精密线性执行器采用超声波压电陶瓷驱动技术,其核心原理是通过压电材料的逆压电效应实现纳米级精密运动

 

1.压电陶瓷振动:高频电压激励压电陶瓷产生微米级振动,驱动特殊设计的弹性体“足部”与驱动杆表面形成周期性摩擦接触;

2.仿生步行机制:通过精确控制电压波形,“足部”以特定频率交替伸缩,模拟生物行走步态,实现驱动杆的直线运动;

 

3.微步细分技术:单个完整步进可细分为8192级微步,通过优化电压波形实现亚纳米级分辨率(如0.8nm/微步);

 

4.自锁与刚性:断电时压电陶瓷保持预紧力,实现零背隙自锁,避免机械回弹误差。

该技术通过超声波压电驱动,有效克服传统电磁驱动的机械摩擦与惯性限制,兼具高速响应(80mm/s)​与纳米级精度,且无需润滑、终身免维护。

 

Piezo LEGS 线性执行器的核心优势

  • 直接驱动:无中间传动,适配半导体检测等高精度场景
  • 纳米级分辨率:满足光学对准等细微位移控制需求
  • 宽推力范围:6.5N 至 450N,覆盖微型设备到工业负载
  • 紧凑高刚性:适配空间受限的便携式医疗设备等场景
  • 自锁零背隙:保障实验室自动化设备运行稳定性
  • 非磁性 + 真空兼容:适配 MRI、电子显微镜及航天真空设备

 

产品阵列:PiezoMotor三大线性压电电机

 

1、LL06:外径 6mm 超紧凑型,支持纳米级控制,适用于内窥镜调焦、微流控阀门等微型精密设备。

2、LT20:行程 0-80mm、推力 100N,真空兼容,适配半导体检测平台与实验室自动化。

3、LT40:最大推力 450N,高刚性热稳定,适用于工业精密装配与真空腔体驱动。

 

基于PiezoMotor核心技术,Piezo LEGS执行器Acuvi电机产品线提供了高精度、高稳定性的运动解决方案,广泛应用于精密仪器、生命科学、光学对焦及自动化设备领域。其独特的PiezoMotor超声波压电电机原理,持续推动微动控制技术的创新演进。

 

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创建时间:2025-09-25 20:10

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